המרכז לננו מדע וננו טכנולוגיה של אוניברסיטת ת”א חנך מעבדת הסטודנטים לליטוגרפיה בקרן אלקטרונים

המעבדה שערכה כרבע מיליון דולר היא תרומת חברת א.ו.ב.א בע”מ ממגדל העמק

מימין לשמאל: פרופ' אורי  צ'שנובסקי, ראש המרכז לננו טכנולוגיה של אוניברסיטת תל אביב, מר אבי פרבר,  סמנכ”ל טכנולוגיות ומכירות בחברת א.ו.ב.א, ופרופ' מנחם נתן ראש המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקלית בפקולטה להנדסה באוניברסיטת תל אביב

המרכז לננו מדע וננו טכנולוגיה של אוניברסיטת ת”א חנך  השבוע את מעבדת הסטודנטים לליטוגרפיה בקרן אלקטרונים שערכה כרבע מיליון דולר,  תרומת חברת א.ו.ב.א בע”מ ממגדל העמק.
בחנוכת המעבדה השתתפו הנהלת א.ו.ב.א., חברי סגל וסטודנטים ממרכז הננו ומהפקולטה להנדסה. בטקס נשאו דברים פרופ' מנחם נתן, ראש המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקאלית בפקולטה להנדסה, פרופ' אורי צ'שנובסקי, ראש המרכז לננו מדע וננו טכנולוגיה של אוניברסיטת ת”א ומר אבי פרבר, סמנכ”ל טכנולוגיות ומכירות בחברת א.ו.ב.א.
המעבדה כוללת מיקרוסקופ אלקטרוני סורק, עליו מותקן מודול כתיבה בקרן אלקטרונים. המיקרוסקופ מאפשר אפיון ומדידה של חומרים והתקנים בהפרדה מרחבית של עד 5 ננו מטר. מודול הכתיבה בקרן אלקטרונים מאפשר כתיבת מבנים קטנים מ 50 ננו מטר. ההפרדה המרחבית של המערכת במדידה ובכתיבה של גבוהה מזו של מערכות אופטיות מקובלות.
מעבדה זו מצטרפת למערך המיקרוסקופים האלקטרונים במרכז הננו ובאוניברסיטת תל-אביב המשמש אנשי סגל וסטודנטים לאפיון ויצור התקנים ננו מטריים (מיליונית המילימטר). קלות השימוש, מאפשרת לחוקרים סטודנטים הפעלה עצמית של המערכת, ובכך לרכוש מיומנות באחת מאבני הבניין העיקריות של “כתיבת” התקנים וצורות במימדים ננו מטריים המשמשים בתהליכי מיקרו אלקטרוניקה וננוטכנולוגיה מתקדמים.
הקמת המעבדה מהווה נדבך נוסף במאמץ של אוניברסיטת תל-אביב לפתח מחקר רב-תחומי בתחום הננוטכנולוגיה. המעבדה, כמו כל שירותי המרכז לננו מדע וננו טכנולוגיה, פתוחה לחוקרים באקדמיה ובתעשייה.
חברת א.ו.ב.א בע”מ הינה חברה לשירותים הנדסיים המתמחה באספקת ציוד ושירותים למחקר ופיתוח ולתעשיית ההייטק בתחומי המוליכים למחצה. מנהלי החברה, חלקם בוגרי הפקולטה להנדסה של האוניברסיטה, תומכים מזה תקופה ארוכה בקידום המחקר והתשתיות  של האוניברסיטה ושמשו בעבר כיועצים להקמת מעבדת ה- מזעור (MEMS ) של המחלקה לאלקטרוניקה פיזיקאלית  וכן תרמו ציוד למדידת אפקט הול עבור מרכז הננו טכנולוגיות בערך כספי של כ- 15,000 דולר.

רצ”ב  צילום מטקס חנוכת המעבדה.